本車間以"未來科技"為設(shè)計(jì)導(dǎo)向,嚴(yán)格遵循ISO14644-1Class5標(biāo)準(zhǔn),打造高精度半導(dǎo)體制造環(huán)境??臻g采用淺灰金屬壁板與深灰防靜電格柵地板的冷色調(diào)組合,營(yíng)造極具科技感的工業(yè)美學(xué)。
核心設(shè)計(jì)亮點(diǎn):
圍護(hù)系統(tǒng):淺灰陽極氧化鋁金屬壁板,表面經(jīng)納米涂層處理,反射率精準(zhǔn)控制在40%-50%,避免光干擾;
地面系統(tǒng):深灰鋁合金防靜電格柵地板,開放率≥60%,電阻值10^4~10^6Ω,下方設(shè)置2米深架空層,集成管線與FFU回風(fēng)系統(tǒng);
空氣凈化:天花滿布FFU+ULPA超高效過濾器,換氣次數(shù)≥60次/h,維持0.45m/s垂直層流;
微環(huán)境控制:核心光刻區(qū)溫控精度±0.1℃,振動(dòng)控制在VC-D級(jí)標(biāo)準(zhǔn);
智能交互:AR虛擬巡檢系統(tǒng)與墻裝透明OLED數(shù)據(jù)看板,實(shí)時(shí)顯示18項(xiàng)工藝參數(shù)。
通過模塊化金屬結(jié)構(gòu)與智能化環(huán)境監(jiān)控的完美融合,為半導(dǎo)體制造提供超越摩爾定律要求的尖端生產(chǎn)環(huán)境。